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KOSAKA臺(tái)階儀ET4000薄膜測(cè)厚儀

簡要描述:KOSAKA臺(tái)階儀ET4000薄膜測(cè)厚儀臺(tái)階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體,光伏/太陽能,光電子,化合物半導(dǎo)體,OLED,生物醫(yī)藥,PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度,臺(tái)階儀測(cè)量薄膜厚度,臺(tái)階高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),劃痕深度,磨損深度,薄膜應(yīng)力(曲定量率半徑法)等定量測(cè)量方面。其高精度,高重復(fù)性,自動(dòng)探索樣品表面

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-01-29
  • 訪  問  量:786

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域能源,電子,汽車,電氣

KOSAKA臺(tái)階儀ET4000薄膜測(cè)厚儀產(chǎn)品概述:

● 高精度.安定性.機(jī)能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測(cè)定的機(jī)型。


● 是多機(jī)能的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī),針對(duì)用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。


● ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測(cè)量。


● ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。


● ET4000L一對(duì)應(yīng)大型工件的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。


● ET4300一適合12"樣品測(cè)量。

臺(tái)階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)


KOSAKA臺(tái)階儀ET4000薄膜測(cè)厚儀產(chǎn)品概述:


最大試片尺寸210×210mm~300×400mm
重現(xiàn)性1σ 0.5nm以內(nèi)
測(cè)定范圍Z:100um X:100~305mm (Y移動(dòng)量:150~400mm)
分解能Z:0.1nm X:0.1um
測(cè)定力

0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)


臺(tái)階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體,光伏/太陽能,光電子,化合物半導(dǎo)體,OLED,生物醫(yī)藥,PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度,臺(tái)階儀測(cè)量薄膜厚度,臺(tái)階高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),劃痕深度,磨損深度,薄膜應(yīng)力(曲定量率半徑法)等定量測(cè)量方面。其高精度,高重復(fù)性,自動(dòng)探索樣品表面


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