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布魯克InSight CAP自動原子力顯微鏡

簡要描述:布魯克InSight CAP自動原子力顯微鏡在*技術節點上,利用多圖案光刻技術對CMP提出了納米工藝控制要求,以滿足聚焦深度的需求。InSight CAP圍繞新一代的AFM掃描儀構建,可在65μmX / Y掃描范圍內提供小于10納米的改進平面度。

  • 產品型號:InSight CAP
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-01-26
  • 訪  問  量:1401

詳細介紹

品牌其他品牌產地類別進口
應用領域化工,石油,電子,交通,汽車

布魯克InSight CAP自動原子力顯微鏡

InSight CAP緊湊型原子探查器

基于生產的深度計量

布魯克的InSight CAP自動原子力輪廓儀專門設計用于半導體制造商和供應商的CMP和蝕刻計量的組合平臺。InSight CAP系統具有300毫米自動處理功能和久經考驗的GEM工廠自動化軟件。

InSight CAP提供

  • CMP和蝕刻的行業的精度和分辨率
  • 無需模型的無損計量
  • 在線計量只需幾分鐘即可完成,適用于技術開發
  • 占地面積小,配置靈活,可實現擁有成本

布魯克InSight CAP自動原子力顯微鏡計量

在*技術節點上,利用多圖案光刻技術對CMP提出了納米工藝控制要求,以滿足聚焦深度的需求。InSight CAP圍繞一代的AFM掃描儀構建,可在65μmX / Y掃描范圍內提供小于10納米的改進平面度。該系統的NanoScope®V 64位AFM控制器提供5倍的接合性能和5倍的調諧速度,以提高生產率,同時還具有增強的可靠性。其DT自適應掃描模式還有助于加快掃描速度并改善計量。憑借其*功能的結合,InSight CAP高分辨率輪廓儀可實現埃級精度,以測量宏觀凹陷和腐蝕。

Insight CAP圖

InSight CAP蝕刻深度計量


 

價值平臺

靈活的配置可支持100毫米至300毫米的晶圓尺寸,從而可以針對各種終應用進行精確測量。從高效的實驗室到全自動的晶圓廠,InSight CAP Profiler可以針對經濟高效的計量解決方案進行配置。

 

 

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